半導體無塵室設計權威 北科大講座教授胡石政 榮獲國家產(chǎn)學大師獎
北科大講座教授胡石政為國內(nèi)外晶圓製程汙染控制的權威。照：北科大提供
護國神山的最強後盾！半導體製程中容不下一粒沙，北科大講座教授胡石政三十多年來投入「潔淨室與高科技廠房設施」研究，與30家廠商建立產(chǎn)學合作技術聯(lián)盟，為國內(nèi)外晶圓製程汙染控制的權威，對於提升國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)競爭力貢獻卓著，17日獲頒教育部國家產(chǎn)學大師獎。
細數(shù)這十年，胡石政為學校帶進的產(chǎn)學合作收入、技轉及專利衍生金等，總計超過2億元。其中最成功的產(chǎn)學合作案，當屬他與臺積電合作的晶圓微小汙染控制的解決方案，其專利改善了傳統(tǒng)晶圓載具的缺點，提昇產(chǎn)品良率，成為高階半導體製程的標準設備，不僅獲英特爾、美光採用，更推進到臺積電在亞利桑那州的新廠。
原來，臺灣的半導體設備多半仰賴國外進口，但進口設備很難確切符合實際製程需求。他領導北科大「潔淨技術研發(fā)中心」和前瞻技術總部「半導體廠務與製程設備研發(fā)中心」，在潔淨控制領域上不斷精進研發(fā)、推陳出新，技術獨步全球，協(xié)助臺灣當?shù)貜S商因地制宜，有能力就近提供設備及服務，成為產(chǎn)學合作技術轉移的典範，為廠商開拓新的商業(yè)模式。
北科大講座教授胡石政（前排左一）率學生團隊與日本芝浦工業(yè)大學今（2023）年3月來訪師生交流合影。照：北科大提供
胡石政同時為美國冷凍空調(diào)工程師協(xié)會（ASHRAE）會士，也是該會《潔淨室設計手冊》主要撰寫人，2017年發(fā)行至今每年更新，已成為國際上此領域的「聖經(jīng)」級工具書。所學所用無不將流體力學發(fā)揮到極致，然而，他與流體力學的結緣卻是「誤打誤撞」。
四十五年前，15歲的胡石政隨父親從臺中北上，到臺北工專（北科大前身）現(xiàn)場登記分發(fā)，「學校簡介從機械工程科開始，我就把這科登記為第一志願。」流體力學是機械科的專業(yè)必修，例如研究風扇如何轉動空氣，進而用很精確的儀器去量測微觀的流體參數(shù)。他越讀越有興趣，再赴美國奧本大學取得機械工程碩士，回臺進入工研院擔任研究員。躬逢九○年代半導體產(chǎn)業(yè)起飛，臺積電第一條生產(chǎn)線就設在工研院內(nèi)，他開始投入潔淨室設計及半導體製程服務，六年後赴英國利物浦大學攻讀博士，1998年回到母校能源與冷凍空調(diào)工程系任教。
胡石政謙稱，十多年前升教授以後，才漸漸看到研究的全貌，「工科應該經(jīng)世濟民，為什麼不把研究的idea接到市場去？」因此投入專利開發(fā)，為企業(yè)研發(fā)並提供服務，力尋研究的出海口，十三年來連年榮獲北科大特殊優(yōu)秀研究人才獎。堅不應酬、心直口快的他，坦言吃過虧。曾有一家美國五百大公司找律師跟他談，想盡辦法規(guī)避他的專利，自行商品化；現(xiàn)在他學會鞏固專利，「專利寫得很清楚，文章發(fā)表得很多，只要在相關設備領域，一定會找到我的名字。」
年少時就在工研院一起打籃球，相識超過三十年的北科大能源系教授施陽正觀察：「產(chǎn)學合作的成功，需要時間的歷練。」從工研院開始，胡石政專注在無塵室、半導體這塊領域已經(jīng)三十多年，一方面非常勤勞跑園區(qū)，了解廠商的需求，另一方面他在專業(yè)領域的耕耘，會吸引優(yōu)秀的學生願意跟著學，形成強大的研發(fā)團隊，這不是一蹴可成的。
在校外，胡石政定期舉辦潔淨室技術短期訓練課程超過十年，培育超過2,500學員人次；在校內(nèi)，他指導的碩博士生超過140人，上百位學生進入高科技業(yè)擔任廠務工程師，近幾年更與日本芝浦工業(yè)大學合作櫻花科技計畫，雙邊互相薦送10位研究生跨海研修交流，增進學生的國際視野和外語能力。
在全球ESG趨勢下，胡石政正在開發(fā)可再生利用的化學濾網(wǎng)，希望再生百次以上仍能擁有同樣效能，將是大幅減少廢棄物、降低碳排放，對環(huán)境友善的革命性產(chǎn)品；同時，希望已獲專利的微粒及氣流大面積可視化技術，能夠發(fā)揮更大的應用價值。與科技業(yè)長遠且深入的產(chǎn)學合作，為關鍵產(chǎn)業(yè)奠定立足全球的競爭力，這正是「學以致用、經(jīng)世濟民」的典範。
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北科大胡石政講座教授國家產(chǎn)學大師獎半導體無塵室