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臺積電積極推動工業廢水再生水廠。示意圖：123RF
由臺積電推行、中鼎興建營運的國內第一座民營再生水廠，「臺積電南科再生水廠」將於9/19日正式通水，這將是全球首度，將工業再生水用於半導體生產；也有別於政府處理民生汙水的水廠，此水廠為處理工業廢水的水廠。而臺積電將持續與政府推動再生水計畫，目標為臺灣廠區 2030年，再生水替代率預計達到 60%的目標。
業者表示，工業廢水再生的技術及品質控管難度高，臺積電自2015年即開始發展再生水技術，2016年打造半導體工業再生水試產線，回收處理工業放流水；而經過漫長的工程和試運，水質穩定後終於決定在2022年9/19舉辦通水典禮。
臺積電南科再生水廠說明，預計2023年供水量將增至每天2萬公噸，此外，臺南永康及安平再生水廠供水量也將逐步擴增，至2024年，臺積電南科廠區每天總計將使用 6.7 萬公噸的再生水。臺積電將持續積極與政府合作，推動再生水計畫，今後也可能推動在竹科與中科建置再生水廠，達到2030年臺灣廠區再生水替代率，預計達到 60%的目標。
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